Die Nanometer-Messtechnologie umfasst: Präzisionsmessung auf Nanometer-Ebene und Messung der Oberflächentopographie auf Nanometerebene. Es gibt zwei Hauptentwicklungsrichtungen für die Nanometer-Messtechnik.
Eine davon ist die optische Interferometrie-Technologie, die die Interferenzränder des Lichts nutzt, um die Auflösung der Messung zu verbessern. Die Messmethoden umfassen: Dual-Frequenz-Laserinterferometrie, optische Heterodyne-Interferometrie, Röntgeninterferometrie, F-P-Standard-Werkzeugmessmethode, etc., kann zur präzisen Messung von Länge und Verschiebung verwendet werden, und kann auch für die Messung der Oberflächenmikrotopographie verwendet werden.
Die zweite ist die Scanning-Sonde mikroskopische Messtechnik (STM). Sein Grundprinzip basiert auf der Tunnelwirkung der Quantenmechanik. Sein Prinzip ist es, eine sehr scharfe Sonde (oder ähnliche Methode) zu verwenden, um die gemessene Oberfläche zu scannen (Sonde und die gemessene Oberfläche ist nicht wirklich in Kontakt), und das dreidimensionale mikroskopische Erscheinungsbild der Oberfläche wird mit Hilfe eines nanoebenen dreidimensionalen Verschiebungspositionier-Kontrollsystems gemessen. Hauptsächlich verwendet, um das mikroskopische Aussehen und die Größe der Oberfläche zu messen.
Zu den Messmethoden nach diesem Prinzip gehören: Rastertunnelmikroskop (STM), Atomkraftmikroskop (AFM) usw.