Grundprinzipien des Rasterelektronenmikroskops
Der von der Rasterelektronenmikroskop-Elektronenkanone emittierte Elektronenstrahl wird fokussiert und zu einer Punktlichtquelle kondensiert; die Punktlichtquelle bildet unter einer Beschleunigungsspannung einen energiereichen Elektronenstrahl; Der energiereiche Elektronenstrahl wird durch zwei elektromagnetische Linsen auf einen Lichtfleck mit kleinem Durchmesser fokussiert und passiert die letzte. Nach einer elektromagnetischen Linse mit einer Abtastspule bombardiert der Elektronenstrahl die Probenoberfläche Punkt für Punkt in einem Raster. wie beim Scannen und regt gleichzeitig elektronische Signale unterschiedlicher Tiefe an.