Grundlegende Einführung des MEMS-Drucksensors
Der MEMS-Drucksensor ist ein Dünnschichtelement, das sich bei Druck verformt. Das Dehnungsmessstreifen (piezoresistive sensing) kann verwendet werden, um diese Verformung zu messen, oder es kann durch kapazitive Erfassung der Änderung des Abstands zwischen den beiden Oberflächen gemessen werden. Diese beiden Methoden sind sehr beliebt, und das Reifendrucküberwachungssystem verwendet eine robustere piezoresistive Methode.